工件表面進行研磨拋光處理，處理的好壞和效果衡量的標準之一就是粗糙度。粗糙度能從物理測量的標準來衡量工件表面的質量。
在對工件進行表面研磨處理時，除去工件材料的不一樣的影響外，有兩點是影響粗糙度的重大因素：
第一點，研磨機器的主軸轉速對工件表面粗糙度的影響
研磨速度是將時間量引入工件的變形中，其主要影響工件表面在研磨加工中變形的速度，影響工件的物理和機械性能，對工件的特性影響不明顯，但高速研磨過程中，摩擦產生的熱量能夠加快催化加速工件的去除，但是當轉速達到900轉/秒時，研磨盤的磨損比較嚴重，導致工件在自轉時產生震動，被加工工件的表面質量不高，所以主軸轉速選擇750轉/秒會是一個比較合適的數值。
第二點，研磨顆粒對工件表面粗糙度的影響
工件已加工表面粗糙度隨著磨料粒度變化的關系可以看出，這一點，經常做現場試驗的工程師會比較清楚。工件的表面粗糙度值隨磨料粒度的變細二發生改變。粗加工時磨料粒度大，磨粒尺寸大，磨粒間距也大，磨盤表面尺寸，每個磨粒的切削深度增大，相應的被加工的工件的粗糙度值較大，半精研磨時，磨料的的粒度為W2*，W7*，在此過程中，磨粒的尺寸較小，逐漸將前者留下的粗糙峰磨削掉，最后采用精加工，采用*號納米盤研磨，在告訴化學研磨下，被加工工件的表面質量較高，粗糙度達到24nm.